Advanced Energy 推出适用于工艺反应腔室清洗系统的MAXstream远程等离子体源产品系列


Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一系列全新的 MAXstreamTM 远程等离子体源 (RPS) 产品,其特点是适用于半导体芯片工艺的反应腔室等离子清洗系统。
Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一系列全新的 MAXstreamTM 远程等离子体源 (RPS) 产品,其特点是适用于半导体芯片工艺的反应腔室等离子清洗系统。