近日，PHT Inc.携手战略合作伙伴深圳大学半导体制造研究院郭登极教授团队联合申报的2024年深圳国际科技合作项目“基于纹影法的化合物半导体表面超高速光学检测装备研制”获深圳市科创局立项。
项目目的
PHT Inc.规划通过和国内知名高校及半导体行业龙头科技企业的合作，在国内光学检测产业里共同推进新型检测装备及其自动化组装运用的国产自主研发，促进技术进步并分享研发成果，推动国内半导体装备产品的多元化及新市场的开拓。
项目参与方介绍
01 PHT Inc.
PHT Inc.通过集成电路搬运自动化技术与日本项目公司建立了半导体项目共同研发的合作关系。日本项目公司创立初期专注于软件研发事业，凭借各种检查测量工具的图像处理及信号处理的研发经验，逐渐成长为检测设备的供应商。其用于汽车电子关联及光学镜头的检测装备得到了广泛的应用及认可，随后针对半导体应用也研发了如半导体引线键合外观检测、打标识别系统、电路板焊点检测等装置。本项目也将基于项目公司的宏观检测装置为原型，通过改良光学系统及研发全新的图像处理软件，用于基于纹影法的新型光学检测装置，从而拓展更多的应用市场。
02 深南科微（深圳）光学有限公司
深南科微由曾任职于日本ROHM和日本Hamamatsu Photonics公司的资深技术团队组建，在标准的无尘室里进行光学系统的研发，和光学检测装备研制及自动化组装测试。
03 深圳大学半导体制造研究院
深圳大学半导体制造研究院依托射频异质异构集成全国重点实验室高水平平台、和机电与控制工程学院，下设光刻机研发中心、传感器研发中心、SiC器件研发中心和SiP封装研发中心等科研机构。每个团队均与领域相关企业开展产学研合作研发，在光刻机核心零部件，半导体制造前后道（含蚀刻、成膜、CMP、划片、先进封装等）关键工艺及装备领域开展研发工作。
项目预期目标
本项目创新性地将经典的光学显示技术应用于化合物半导体检测中，提出广角视野的高速检测方法，能高速高效地检测半导体晶圆表面或者芯片图形上的各类微小缺陷。根据不同缺陷的形态特征，通过光学系统和软件算法的合理搭配，实现不同产品和多样化工艺中的高速检测，全面替代目前效率较低、可靠性待提高的人工抽检方式，实现化合物半导体的自动化全数检测。
人才培养
PHT Inc.规划与深圳大学在该领域联合培养研究生和工程师多名。
参考链接
深圳市科技创新局
深圳大学半导体制造研究院
PHT Inc.
关于菲科半导体
菲科半导体作为PHT Inc.在中国的核心子公司，正积极推进设备国产化量产的进程。凭借PHT在硅晶圆搬运和激光加工方面的技术优势，菲科半导体为包括SiC（碳化硅）和GaN（氮化镓）材料在内的化合物半导体领域提供全方位的搬运解决方案。这些解决方案涵盖Robot机械臂、Transfer搬运设备、传输设备、EFEM（设备前端模块）、Sorter（分选机）、自动剥离清洗设备、槽式清洗设备和单片式清洗设备。同时，菲科半导体特别注重在功率半导体市场的应用，为中国半导体企业提供综合解决方案，助力其在该领域的快速发展。通过持续的技术创新和市场拓展，菲科半导体致力于成为中国半导体行业的重要合作伙伴和推动力量。
来源：菲科半导体
