聚焦AMHS核心零部件，弥费科技近日完成了光通讯传感器E84的自主研发，并进入产品化量产阶段。
该产品基于半导体 SEMI E84 协议而设计的并行 8 位光学数据传输设备，即利用IR(光)将主动端与被动端设备之间的SEMI E84 总线信号通过非接触方式进行收发，广泛应用于半导体AMHS和其它工业自动化物流领域。
| MF-E84 Sensor
关于E84
随着先进制程技术的不断演进，高效的自动物料搬运系统已成为现代半导体制造的不可或缺的一部分。为实现晶圆载具(FOUP/POD等)在自动化物料搬运系统(AMHS)与机台装载端口(LP)之间的自动化交接，E84传感器应运而生。该传感器通过非接触方式进行数据收发，实现自动化交接过程。E84传感器精确的信号传输，确保了晶圆在转移过程中的安全性和准确性。
E84运行机制
E84传感器的工作原理主要围绕其在自动化物料搬运系统（AMHS）中的应用，特别是在半导体制造过程中的大尺寸晶圆载体转移问题上。E84传感器通过增强SEMI E23中定义的并行 I/O接口能力，以支持传输的可靠性和效率。
E84传感器定义了一系列控制信号，例如VALID（信号转换是活跃的）、CS_0和CS_1（分别代表载体阶段0和1）、TR_REQ（转移请求）、L_REQ和U_REQ（分别代表装载请求和卸载请求）、READY（准备就绪进行转移）、BUSY（转移忙碌）、COMPT（转移完成）、CONT（连续交接）、HO_AVBL（交接可用）、ES（紧急停止）、VA（车辆到达）。
上图展示了晶圆盒在AMHS和机台loadport之间相互交互的过程，以取货为例，天车携带晶圆载体移动到目标机台的装载端口，E84传感器被激活，准备进行信号通信。
E84在天车OHT与Stocker设备对接中的应用
AMHS机台与天车通过E84传感器进行信号握手，确保两者的通信和同步。
当机台准备好接收晶圆载体，它将发送装载请求给天车。
天车接收到装载请求后，在准备好进行装载时，将通过E84传感器发送READY信号。
机台和天车通过E84传感器协调，执行装载动作。机台可能打开FOUP的门，进行晶圆装载。
装载完成后，机台通过E84传感器发送完成信号给天车。
弥费E84产品特点
高可靠性：E84传感器设计用于严苛的无尘室环境，确保在各种条件下都能稳定工作。
红外通信：采用IR技术，具有良好的抗电磁干扰能力。
兼容性：遵循SEMI-E84标准，确保与不同厂商的设备和系统集成。
产品认证：通过CE认证
弥费E84产品规格
弥费E84产品应用场合
01 | AGV/OHT 通讯 |
02 | 智能存储货架 |
03 | 自动化生产线 |
04 | 自动化仓储系统 |
来源：弥费科技
