泛林集团推出全新适用于200mm的光刻胶剥离技术

泛林集团旗下GAMMA®系列干式光刻胶剥离系统推出最新一代产品,将该系列GxT®系统晶圆加工能力从300mm拓展至200mm。作为专供特种技术市场的产品,GAMMA GxT系统在相关应用中体现出了极高的可靠性、生产率和灵活性。

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