改进晶圆制造工艺,探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案 winniewei -- 周二, 10/18/2022 - 11:06 满足当今技术创新的繁荣发展和复杂多变的产业环境,半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。
助力提升芯片质量和产量,半导体工艺监测中的光谱应用 winniewei -- 周四, 09/15/2022 - 17:49 根据检测工艺所处的环节,IC集成电路检测被分为设计验证、前道量检测和后道检测。