MEMS

数十年来，振荡器和时钟始终依靠石英晶体来产生稳定的参考频率。晶体在许多应用中表现出十分优异的性能。但十年前，使用MEMS谐振器代替石英晶振的微机电系统（MEMS）技术进入了市场，并迅速受到广泛的关注。

全球领先的压电传感器MEMS供应商Vesper今天宣布推出VM3011，这是业界第一款采用自适应零功率听觉（Adaptive ZeroPower Listening™）技术的智能数字麦克风，它采用一种突破坏性的节能架构，可将电池待机寿命扩展10倍，但同时具有同类产品的最佳声学性能。

意法半导体单片集成MEMS 3轴加速度计和温度传感器，目标应用包括空间受限和电池敏感的探测器，例如，货物跟踪器、穿戴设备和物联网端点。温度传感器具有0.8°C的测量准确度，同时精确度也媲美独立的标准温度传感器。

意法半导体推出IIS2DLPC 3轴MEMS加速度计，可以在超低功耗和高分辨率之间动态改变工作模式，在有限的功耗预算内实现高精度测量。该传感器可连续执行上下文感知功能，在受命令时唤醒主机系统，并进行高精度测量，然后返回到超低功耗模式。

灵活的解决方案覆盖宽频率范围，无需外部晶振

近年来，在IoT和可穿戴等领域，市场对所用的电子设备小型化、长时间运转的要求越来越高，相应的，构成电子设备的电子元器件也被要求更加小型化和省电。尤其是谐振器，在众多的电子元器件中，低功耗谐振器的需求更急切，以期持续恒定工作，使设备能正常发挥功能。

意法半导体（ STMicroelectronics ，简称 ST ；纽约证券交易所代码： STM ） 推出可视化的 Profi MEMS Tool 开发平台，方便工程师 查看MEMS 传感器的工作状态，加快产品上市时间，并最大限度提高新产品设计的性能。

数十年来，振荡器和时钟始终依靠石英晶体来产生稳定的参考频率。晶体在许多应用中表现出十分优异的性能。但十年前，使用MEMS谐振器代替石英晶振的微机电系统（Microelectromechanical System，MEMS）技术进入了市场，并迅速受到广泛的关注。

基于MEMS的时序器件兼具高可靠性、扩展工作温度、小体积和低功耗特性。

作者： Maurizio Gavardoni Microchip Technology Inc.

摘要

作者： Maurizio Gavardoni Microchip Technology Inc

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